为了保持的洁净度，在净化车间检测过程中，温湿度的检测也十分重要。温湿度的检测应该在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行，空调系统充分运转，各项状况已稳定，每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，结合净化车间实际情况，待传感器稳定后测量。
压差测试是车间检测项目中比较重要的一项，目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界较远的里间房间开始，依次向外测试。在净化车间检测中，还要测试悬浮粒子、浮游菌、噪声和照度等。
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