清理系统系统终过滤器通常使用过滤器或次过滤器，在这里每个清洁度水平似乎有两种类型的过滤器可供选择，无论是还是低性能，具体取决于具体情况：当环境受到严重污染，或室内排气比例大，或洁净室时 特别重要的是需要很大的安全系数。
在任一种或两种情况下，选择更高类型的过滤器相反，可以选择性能较低的滤波器。对于需要控制0.1μm颗粒的洁净室，无论受控颗粒浓度如何，都应选择D级过滤器。
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